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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
IEICE-EID, IDY, IEE-EDD
(連催)
SID-JC, IEIJ-SSL
(共催)
(連催) [詳細]
2026-01-29
13:45
香川 サンポートホール高松 [ポスター講演]層状構造BNの減圧CVD成長における多形形成
中野颯斗竹村 晃青山涼太平岡晃輔原 和彦小南裕子静岡大
BCl3とNH3を原料とする減圧化学気相成長法(CVD)を用いる、c面サファイア基板上への層状構造窒化ホウ素(BN)薄膜... [more] IDY2026-1
pp.1-4
IEICE-EID, IDY, SID-JC, IEIJ-SSL, IEE-EDD
(連催)
2025-01-23
13:15
静岡 静岡大学 浜松キャンパス 佐鳴会館 [ポスター講演]減圧CVDによる層状BNの膜形成の成長雰囲気依存性
太田颯真青池琉希竹村 晃中野颯斗成瀬 匠青山涼太小南裕子原 和彦静岡大
BCl3およびNH3を原料に用いる減圧CVDによりc面サファイア基板上に成長した層状BN薄膜について、成長雰囲気がBNの... [more]
IEICE-EID, IDY, SID-JC, IEIJ-SSL, IEE-EDD
(連催)
2025-01-23
13:20
静岡 静岡大学 浜松キャンパス 佐鳴会館 [ポスター講演]BCl3を原料に用いる層状BNの減圧CVDにおける炭素混入機構
青池琉希太田颯真竹村 晃中野颯斗青山涼太成瀬 匠小南裕子原 和彦静岡大
我々は、B原料にBCl3ガスを使用する減圧化学気相成長により、六方晶窒化ホウ素薄膜の作製に取り組んでいる。BCl3はCを... [more] IDY2025-3
pp.9-12
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