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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
IEICE-EID, IDY, SID-JC, IEIJ-SSL, IEE-EDD
(連催)
2025-01-23
13:20
静岡 静岡大学 浜松キャンパス 佐鳴会館 (静岡県) [ポスター講演]BCl3を原料に用いる層状BNの減圧CVDにおける炭素混入機構
青池琉希太田颯真竹村 晃中野颯斗青山涼太成瀬 匠小南裕子原 和彦静岡大
我々は、B原料にBCl3ガスを使用する減圧化学気相成長により、六方晶窒化ホウ素薄膜の作製に取り組んでいる。BCl3はCを... [more] IDY2025-3
pp.9-12
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