| 講演抄録／キーワード |
| 講演名 |
2022-08-09 14:00
近接容量センサを用いた高精度微小容量差計測
○渡部吉祥・須釜侑希・志波良信・黒田理人・白井泰雪・須川成利（東北大） |
| 抄録 |
（和） |
微小容量差計測のための近接容量センサを 0.18 μm CMOSテクノロジを用いて設計・試作した．設計・試作したセンサの測定を行い 入出力特性において広い容量範囲にわたる良好な線形性と ノイズキャンセル 動作 による低ノイズ信号 読み出 しを実現した．また，微小な容量差を高精度に計測するための最適なシステムパラメータの検討を行い，測定対象容量と検出電極寄生容量の値が近いほど高感度に微小容量差を測定できることを明らかにした．システムパラメータの検討結果をもとに微小容量変化測定を行い，基準容量に対して 1%以下の微小容量変化の検出を達成した． |
| （英） |
A proximity capacitance sensor for measuring small capacitance differences was designed and fabricated using 0.18 μm CMOS technology. Measurements of the prototype sensors were performed, and good linearity over a wide capacitance range in the input-output characteristics and low noise measurement by noise cancelling operation were achieved .The optimal system parameters for measuring small capacitance differences with high accuracy were investigated, and it was found that when the measurement capacitance value is close to the detection electrode parasitic capacitance value, -higher sensitivity is obtained toward measurement of small capacitance difference measurement. Based on these results, small capacitance change measurements were performed and a detection of small capacitance changes of 1 % relative to the back-ground capacitance was confirmed. |
| キーワード |
（和） |
近接容量 / センサ / 高精度 / 微小容量差 / ノイズキャンセリング / / / |
| （英） |
Proximity Capacitance / Sensor / High Precision / Small Capacitance Difference / Noise Cancelling / / / |
| 文献情報 |
映情学技報, vol. 46, no. 23, IST2022-31, pp. 71-76, 2022年8月. |
| 資料番号 |
IST2022-31 |
| 発行日 |
2022-08-01 (IST) |
| ISSN |
Print edition: ISSN 1342-6893 Online edition: ISSN 2424-1970 |
| PDFダウンロード |
|
| 研究会情報 |
| 研究会 |
IEICE-ICD IEICE-SDM IST |
| 開催期間 |
2022-08-08 - 2022-08-10 |
| 開催地（和） |
オンライン開催 |
| 開催地（英） |
On-line |
| テーマ（和） |
アナログ、アナデジ混載、RF及びセンサインタフェース回路、低電圧・低消費電力技術、新デバイス・回路とその応用 |
| テーマ（英） |
Analog, Mixed Analog and Digital, RF, and Sensor Interface, Low Voltage/Low Power Techniques, Novel Devices/Circuits, and the Applications |
| 講演論文情報の詳細 |
| 申込み研究会 |
IST |
| 会議コード |
2022-08-ICD-SDM-IST |
| 本文の言語 |
日本語 |
| タイトル（和） |
近接容量センサを用いた高精度微小容量差計測 |
| サブタイトル（和） |
|
| タイトル（英） |
High-precision small capacitance difference measurement using proximity capacitance sensor |
| サブタイトル（英） |
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| キーワード(1)（和/英） |
近接容量 / Proximity Capacitance |
| キーワード(2)（和/英） |
センサ / Sensor |
| キーワード(3)（和/英） |
高精度 / High Precision |
| キーワード(4)（和/英） |
微小容量差 / Small Capacitance Difference |
| キーワード(5)（和/英） |
ノイズキャンセリング / Noise Cancelling |
| キーワード(6)（和/英） |
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| キーワード(7)（和/英） |
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| キーワード(8)（和/英） |
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| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） |
渡部 吉祥 / Yoshiaki Watanabe / ワタナベ ヨシアキ |
| 第1著者 所属（和/英） |
東北大学 (略称： 東北大)
Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） |
須釜 侑希 / Yuki Sugama / スガマ ユウキ |
| 第2著者 所属（和/英） |
東北大学 (略称： 東北大)
Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） |
志波 良信 / Yoshinobu Shiba / シバ ヨシノブ |
| 第3著者 所属（和/英） |
東北大学 (略称： 東北大)
Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） |
黒田 理人 / Rihito Kuroda / クロダ リヒト |
| 第4著者 所属（和/英） |
東北大学 (略称： 東北大)
Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） |
白井 泰雪 / Yasuyuki Shirai / シライ ヤスユキ |
| 第5著者 所属（和/英） |
東北大学 (略称： 東北大)
Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） |
須川 成利 / Shigetoshi Sugawa / スガワ シゲトシ |
| 第6著者 所属（和/英） |
東北大学 (略称： 東北大)
Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 講演者 |
第1著者 |
| 発表日時 |
2022-08-09 14:00:00 |
| 発表時間 |
25分 |
| 申込先研究会 |
IST |
| 資料番号 |
IST2022-31 |
| 巻番号（vol） |
vol.46 |
| 号番号（no） |
no.23 |
| ページ範囲 |
pp.71-76 |
| ページ数 |
6 |
| 発行日 |
2022-08-01 (IST) |