| 講演抄録／キーワード |
| 講演名 |
2021-10-08 13:00
Fe-Co合金の単結晶薄膜および多結晶厚膜の構造と磁歪特性
○中村優太・明田俊祐・近藤 輝・大竹 充・川井哲郎・二本正昭（横浜国大）・桐野文良（東京藝術大）・稲葉信幸（山形大） |
| 抄録 |
（和） |
大きな磁歪を示すFe-Co合金は磁歪式振動発電デバイスへの応用に向けて注目されている．本研究では，磁歪の基本特性を調べるために，マグネトロン・スパッタリング法により600 °Cの高基板温度でVN(001)単結晶下地層上に100 nm厚の(Fe0.7Co0.3)100–xBx（at. %, x = 0–15）合金単結晶膜を形成した．B組成が0から5 at. %に増加すると，磁歪定数(λ100, λ111)が(+200×10–6, –10×10–6)から(+310×10–6, +20×10–6)まで増加した．少量のB添加は，結晶性を維持した状態でB2相への規則化を促進させ，磁歪を増大させた．実デバイスではマイクロ・メートル・オーダーの膜厚が要求される．そのため，Fe100–yCoy（y = 0–95）合金の厚膜を形成するために，電解めっき法を用いた．Fe70Co30およびFe30Co70多結晶厚膜の磁歪定数λは，それぞれ，+120×10–6および+130×10–6であった．電解めっき法により大きな磁歪を持つFe-Co厚膜の形成が可能であることが示された． |
| （英） |
Fe-Co alloys with large magnetostriction have attracted much attention to magnetostrictive vibration power generation device. In the present study, (Fe0.7Co0.3)100–xBx (at. %, x = 0–15) alloy single-crystalline films of 100 nm thickness are prepared on VN(001) single-crystal substrates at a high substrate temperature of 600 °C by UHV magnetron sputtering to investigate the intrinsic magnetostriction property. As the B content increases from 0 to 5 at. %, the magnetostrictive coefficients of (λ100, λ111) increase from (+200×10–6, –10×10–6) to (+310×10–6, +20×10–6). Slight addition of B atom promotes B2 ordering while keeping the crystallographic quality and enhances the magnetostriction. Thickness in micrometer scale is required for practical application. Electroplating is employed to prepare thick Fe100–yCoy (y = 0–95) alloy films. The λ values of Fe70Co30 and Fe30Co70 poly-crystalline thick films are respectively +120×10–6 and +130×10–6. Fe-Co thick films with large magnetostriction are successfully prepared by electroplating. |
| キーワード |
（和） |
Fe-Co合金 / 単結晶薄膜 / 多結晶厚膜 / 磁歪 / / / / |
| （英） |
Fe-Co Alloy / Single-Crystalline Thin Film / Poly-Crystalline Thin Film / Magnetostriction / / / / |
| 文献情報 |
映情学技報 |
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