| 講演抄録／キーワード |
| 講演名 |
2020-01-24 10:10
［ポスター講演］熱拡散により作製した深紫外発光ZnAl2O4薄膜の膜質評価
○今川海斗・園田直樹・小南裕子・原 和彦（静岡大） |
| 抄録 |
（和） |
スパッタリング法により、サファイア基板上にZnO膜を堆積させ、熱拡散によりZnAl2O4薄膜を作製した。電子線励起発光測定を行い、膜内部の発光層の分布について、加速電圧の変化に伴う電子線侵入深さと、紫外発光強度の関係から分析を行った。 |
| （英） |
ZnAl2O4 thin films for deep UV emitting phosphor prepared by deposition of ZnO on sapphire substrates and thermal diffusion process at 1000 oC. The distribution of the emitting layer of thin films was analyzed from the relationship between the penetration depth of electron beam by increasing acceleration voltage and the UV emission intensity by cathodoluminescence. |
| キーワード |
（和） |
ZnAl2O4薄膜 / 紫外発光蛍光体 / 電子線励起発光 / 電子線侵入深さ分析 / / / / |
| （英） |
ZnAl2O4 thin film / UV emitting phosphor / Cathodoluminescence / Depth profiling by electron beam / / / / |
| 文献情報 |
映情学技報, vol. 44, no. 1, IDY2020-16, pp. 81-84, 2020年1月. |
| 資料番号 |
IDY2020-16 |
| 発行日 |
2020-01-16 (IDY) |
| ISSN |
Print edition: ISSN 1342-6893 Online edition: ISSN 2424-1970 |
| PDFダウンロード |
|