| 講演抄録／キーワード |
| 講演名 |
2020-01-23 13:10
［ポスター講演］ZnO系ナノ粒子分散薄膜のミストCVD
○大城巨暉・小野田翔悟・奈良俊宏・小南裕子・原 和彦（静岡大） |
| 抄録 |
（和） |
新規の蛍光体応用のための材料としてナノ粒子分散半導体薄膜を提案し，その一例として，ZnOナノ粒子分散Ga2O3薄膜の作製をミストCVDにより試みた．実験では，5 mmol/LのGaCl3水溶液に，粒径約20 nmのZnO粒子を加えて原料溶液をミスト化し，c面サファイア基板上に500 ℃で成膜を行った．これらの試料について，表面モフォロジー，結晶性および発光特性の評価を行った結果，ミストにより輸送されたZnOナノ粒子が膜特性を変化させ得ることを示した． |
| （英） |
As one of the nanoparticle-dispersed semiconductor films we have proposed for novel phosphor applications, ZnO-nanoparticle-dispersed Ga2O3 films were grown by mist-chemical vapor deposition. Mist of 5 mmol/L GaCl3 solution mixed with ZnO nanoparticles with a diameter of about 20 nm was transported to the reactor, where the film was deposited on a c-plane sapphire substrate at 500 ℃. The characterization of the grown samples by scanning microscopy, x-ray diffraction and photoluminescence suggests that the transported ZnO nanoparticle changed their properties. |
| キーワード |
（和） |
ナノ粒子 / ミストCVD / ZnO / Ga2O3 / / / / |
| （英） |
nanoparticle / mist CVD / ZnO / Ga2O3 / / / / |
| 文献情報 |
映情学技報, vol. 44, no. 1, IDY2020-3, pp. 5-8, 2020年1月. |
| 資料番号 |
IDY2020-3 |
| 発行日 |
2020-01-16 (IDY) |
| ISSN |
Print edition: ISSN 1342-6893 Online edition: ISSN 2424-1970 |
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