| 講演抄録／キーワード |
| 講演名 |
2019-08-02 15:35
［依頼講演］フォルダブルディスプレイ用金属配線材料の特性評価
○倉 千晴・寺前裕美・田内裕基（神戸製鋼所）・後藤裕史・奥野博行（コベルコ科研） |
| 抄録 |
（和） |
フレキシブルディスプレイは従来のフラットパネルディスプレイに対し、薄くて軽い、柔軟であるなどの特徴をもち、将来的に需要が高まると予想されている。フォルダブルディスプレイのLTPS TFTゲート配線には耐熱性、低電気抵抗率に加えて屈曲耐性も求められる。しかしながら従来用いられてきたMoなどの高融点金属は、半径1 mmで屈曲すると断線してしまう。本研究では、過去にa-Si TFTに用いられた実績のあるAl-Nd合金について、屈曲後の電気抵抗上昇率を比較することにより屈曲耐性を評価した。その結果、Al-2.0および4.0 at% Nd合金薄膜がフォルダブルディスプレイ用金属配線材料として活用できる可能性を見出した。 |
| （英） |
Recently, flexible displays are receiving a lot of attention, and the demands of flexible displays are expected to increase in the future. For the metal interconnection in foldable displays, bending resistance is necessary in addition to heat resistance and low electrical resistivity. However, Mo interconnection, which is used as a gate electrode of LTPS TFT, is easily disconnected by bending test with a radius of 1 mm. In this study, we report the bending resistance of Al-Nd alloy films, which have been used as gate electrodes of a-Si TFT, and clarify the adaptability of Al-2.0 or 4.0 at% Nd alloy films to the foldable displays. |
| キーワード |
（和） |
フォルダブルディスプレイ / Al-Nd合金 / 金属配線 / 屈曲耐性 / / / / |
| （英） |
foldable display / Al-Nd alloy / metal interconnection / bending resistance / / / / |
| 文献情報 |
映情学技報, vol. 43, no. 24, IDY2019-46, pp. 21-24, 2019年8月. |
| 資料番号 |
IDY2019-46 |
| 発行日 |
2019-07-26 (IDY) |
| ISSN |
Print edition: ISSN 1342-6893 Online edition: ISSN 2424-1970 |
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