| 講演抄録／キーワード |
| 講演名 |
2018-06-27 13:10
［ポスター講演］高紫外光感度・高飽和CMOSイメージセンサを用いたサブppmオーダのオゾン水対流のイメージング
○村田真麻・藤原康行・青柳雄介・黒田理人・須川成利（東北大） |
| 抄録 |
（和） |
高紫外光感度・高飽和性能を有するCMOSイメージセンサを用いた紫外光吸光イメージングについて述べる．Si表面近傍に急峻なドーピングプロファイルをもつ高紫外光感度フォトダイオードを有し，高飽和を実現する1pFのLOFICを各画素に搭載したCMOSイメージセンサを開発した．設計，試作したイメージセンサが190-1000nmの広光波長帯域と8Me-の飽和電荷量，飽和近傍で約68dBのSNR (Signal to Noise Ratio) を有することを確認した．本イメージセンサを用い，光波長254nmの紫外光を照射し，サブppmオーダのオゾン水が超純水中を拡散・対流する様子をリアルタイムに撮影することに成功した． |
| （英） |
This paper reports ultraviolet (UV) light spectral absorption imaging technology using a high UV light sensitivity and high saturation CMOS image sensor. The developed CMOS image sensor has photodiodes with surface high concentration layer with steep dopant profile for a high UV light sensitivity and 1pF Lateral Overflow Integration Capacitor (LOFIC) in each pixel for a high saturation. It has been designed, fabricated and tested. It exhibited a spectral response to a wide light waveband of 190-1000nm, a full well capacity of 8Me- and 68dB SNR around saturation. Using the image sensor, sub-ppm order ozonated water diffusion and convention in ultrapure water are visualized under 254nm ultraviolet light. |
| キーワード |
（和） |
分光イメージング / 吸光分析 / 紫外光 / オゾン水 / 飽和電荷量 / CMOSイメージセンサ / / |
| （英） |
Spectral imaging / Absorption analysis / Ultraviolet light / Ozonated water / Full well capacity / CMOS image sensor / / |
| 文献情報 |
映情学技報, vol. 42, no. 19, IST2018-34, pp. 13-16, 2018年6月. |
| 資料番号 |
IST2018-34 |
| 発行日 |
2018-06-20 (IST) |
| ISSN |
Print edition: ISSN 1342-6893 Online edition: ISSN 2424-1970 |
| PDFダウンロード |
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| 研究会情報 |
| 研究会 |
IST |
| 開催期間 |
2018-06-27 - 2018-06-27 |
| 開催地（和） |
東京理大森戸記念館 |
| 開催地（英） |
Tokyo Univ. Sci.-Morito-Kinenkan |
| テーマ（和） |
高機能イメージセンシングとその応用 |
| テーマ（英） |
Advanced Imaging systems and applications |
| 講演論文情報の詳細 |
| 申込み研究会 |
IST |
| 会議コード |
2018-06-IST |
| 本文の言語 |
日本語 |
| タイトル（和） |
高紫外光感度・高飽和CMOSイメージセンサを用いたサブppmオーダのオゾン水対流のイメージング |
| サブタイトル（和） |
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| タイトル（英） |
Imaging of Sub-ppm Order Ozonated Water Convection Using High Ultraviolet Light Sensitivity and High Saturation CMOS Image Sensor |
| サブタイトル（英） |
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| キーワード(1)（和/英） |
分光イメージング / Spectral imaging |
| キーワード(2)（和/英） |
吸光分析 / Absorption analysis |
| キーワード(3)（和/英） |
紫外光 / Ultraviolet light |
| キーワード(4)（和/英） |
オゾン水 / Ozonated water |
| キーワード(5)（和/英） |
飽和電荷量 / Full well capacity |
| キーワード(6)（和/英） |
CMOSイメージセンサ / CMOS image sensor |
| キーワード(7)（和/英） |
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| キーワード(8)（和/英） |
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| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） |
村田 真麻 / Maasa Murata / ムラタ マアサ |
| 第1著者 所属（和/英） |
東北大学 (略称： 東北大)
Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） |
藤原 康行 / Yasuyuki Fujihara / フジハラ ヤスユキ |
| 第2著者 所属（和/英） |
東北大学 (略称： 東北大)
Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） |
青柳 雄介 / Yusuke Aoyagi / アオヤギ ユウスケ |
| 第3著者 所属（和/英） |
東北大学 (略称： 東北大)
Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） |
黒田 理人 / Rihito Kuroda / クロダ リヒト |
| 第4著者 所属（和/英） |
東北大学 (略称： 東北大)
Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） |
須川 成利 / Shigetoshi Sugawa / スガワ シゲトシ |
| 第5著者 所属（和/英） |
東北大学 (略称： 東北大)
Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 講演者 |
第1著者 |
| 発表日時 |
2018-06-27 13:10:00 |
| 発表時間 |
50分 |
| 申込先研究会 |
IST |
| 資料番号 |
IST2018-34 |
| 巻番号（vol） |
vol.42 |
| 号番号（no） |
no.19 |
| ページ範囲 |
pp.13-16 |
| ページ数 |
4 |
| 発行日 |
2018-06-20 (IST) |