PN-Body Tied SOI FETのBody Tied部のN層の濃度を濃いN+層から薄いN-層に見直すことで、ボディ電圧1V以下ドレイン電圧0.1Vで急峻なサブスレッショルド特性(Subthreshold Slope :SS)が出ることを確認した.また,シミュレーションでもN層濃度の違いにより急峻なSS特性が出るボディ電圧の差を再現できた。さらに、シミュレーション解析によりN+層、N-層を使う場合、急峻なSS特性を発生させるには、最適な幅があることが分かった.
(英)
We have found out that the super steep Subthreshold Slope (SS) of the PN-body tied SOI FET appeared with the body voltage of below 1V. and the drain voltage of 0.1V when the N layer of the body tied region changes from the N+ to the N- . Device simulations reproduced the difference of the necessity body voltage on appearance of the super steep SS between the N+ and the N-. In addition, results of simulation show the optimized width of N layer with both the N+ and the N-.