| 講演抄録／キーワード |
| 講演名 |
2015-09-18 16:10
電荷電圧変換ゲイン240uV/e-、飽和電子数200ke-、感度波長帯域190-1000nmを有するCMOSイメージセンサ
○那須野悟史・若嶋駿一・楠原史章・黒田理人・須川成利（東北大） |
| 抄録 |
（和） |
広光波長帯域・高信頼性PD技術，低容量FD形成技術，LOFIC技術，埋め込みチャネル技術を融合した画素ピッチ5.6 μm，画素数1280×960のCMOSイメージセンサの設計，試作，測定評価を行った．最小加工寸法0.18 μm-CMOSイメージセンサプロセステクノロジを用いて試作したチップの測定の結果，240 μV/e-の電荷電圧変換ゲイン，200 ke-の飽和電子数，190-1000 nmの広い感度波長帯域の性能を得た．高出力重水素ランプによる220時間の紫外光照射後も感度劣化が起こらない高い信頼性を有することを確認した． |
| （英） |
In this paper, a CMOS image sensor introducing wide spectral sensitive PD technology, small floating diffusion (FD) capacitance technology, lateral overflow integration capacitor (LOFIC) technology and buried channel technology is designed, fabricated and evaluated. A 5.6 μm pixel pitch CMOS image sensor was fabricated using a 0.18 μm 1P5M CMOS process technology. It achieved a high conversion gain (CG) of 240 μV/e-, a high full well capacity of 200 ke-, a wide spectral response for 190-1000 nm and a high robustness to deuterium lamp used as a UV light. |
| キーワード |
（和） |
分光感度 / 紫外光 / 電荷電圧変換ゲイン / 飽和電荷量 / CMOSイメージセンサ / / / |
| （英） |
Spectral response / Ultraviolet light / Conversion gain / Full well capacity / CMOS image sensor / / / |
| 文献情報 |
映情学技報, vol. 39, no. 35, IST2015-55, pp. 49-52, 2015年9月. |
| 資料番号 |
IST2015-55 |
| 発行日 |
2015-09-11 (IST) |
| ISSN |
Print edition: ISSN 1342-6893 Online edition: ISSN 2424-1970 |
| PDFダウンロード |
|
| 研究会情報 |
| 研究会 |
IST |
| 開催期間 |
2015-09-18 - 2015-09-18 |
| 開催地（和） |
機械振興会館 |
| 開催地（英） |
Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. |
| テーマ（和） |
イメージセンサおよび一般、２０１５ ＩＩＳＷとＶＬＳＩシンポジウムからの発表報告 |
| テーマ（英） |
|
| 講演論文情報の詳細 |
| 申込み研究会 |
IST |
| 会議コード |
2015-09-IST |
| 本文の言語 |
日本語 |
| タイトル（和） |
電荷電圧変換ゲイン240uV/e-、飽和電子数200ke-、感度波長帯域190-1000nmを有するCMOSイメージセンサ |
| サブタイトル（和） |
|
| タイトル（英） |
A CMOS Image Sensor with 240μV/e- Conversion Gain, 200ke- Full Well Capacity and 190-1000nm Spectral Response |
| サブタイトル（英） |
|
| キーワード(1)（和/英） |
分光感度 / Spectral response |
| キーワード(2)（和/英） |
紫外光 / Ultraviolet light |
| キーワード(3)（和/英） |
電荷電圧変換ゲイン / Conversion gain |
| キーワード(4)（和/英） |
飽和電荷量 / Full well capacity |
| キーワード(5)（和/英） |
CMOSイメージセンサ / CMOS image sensor |
| キーワード(6)（和/英） |
/ |
| キーワード(7)（和/英） |
/ |
| キーワード(8)（和/英） |
/ |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） |
那須野 悟史 / Satoshi Nasuno / ナスノ サトシ |
| 第1著者 所属（和/英） |
東北大学 (略称： 東北大)
Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） |
若嶋 駿一 / Shunichi Wakashima / ワカシマ シュンイチ |
| 第2著者 所属（和/英） |
東北大学 (略称： 東北大)
Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） |
楠原 史章 / Fumiaki Kusuhara / クスハラ フミアキ |
| 第3著者 所属（和/英） |
東北大学 (略称： 東北大)
Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） |
黒田 理人 / Rihito Kuroda / クロダ リヒト |
| 第4著者 所属（和/英） |
東北大学 (略称： 東北大)
Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） |
須川 成利 / Shigetoshi Sugawa / スガワ シゲトシ |
| 第5著者 所属（和/英） |
東北大学 (略称： 東北大)
Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第6著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第7著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第8著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第8著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第9著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第9著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第10著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第10著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第11著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第11著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第12著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第12著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第13著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第13著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第14著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第14著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第15著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第15著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第16著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第16著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第17著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第17著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第18著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第18著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第19著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第19著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第20著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第20著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第21著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第21著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第22著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第22著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第23著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第23著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第24著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第24著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第25著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第25著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第26著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第26著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第27著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第27著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第28著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第28著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第29著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第29著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第30著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第30著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第31著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第31著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第32著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第32著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第33著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第33著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第34著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第34著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第35著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第35著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 第36著者 氏名（和/英/ヨミ） |
/ / |
| 第36著者 所属（和/英） |
(略称： )
(略称： ) |
| 講演者 |
第1著者 |
| 発表日時 |
2015-09-18 16:10:00 |
| 発表時間 |
30分 |
| 申込先研究会 |
IST |
| 資料番号 |
IST2015-55 |
| 巻番号（vol） |
vol.39 |
| 号番号（no） |
no.35 |
| ページ範囲 |
pp.49-52 |
| ページ数 |
4 |
| 発行日 |
2015-09-11 (IST) |