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講演抄録/キーワード
講演名 2015-09-18 16:10
電荷電圧変換ゲイン240uV/e-、飽和電子数200ke-、感度波長帯域190-1000nmを有するCMOSイメージセンサ
那須野悟史若嶋駿一楠原史章黒田理人須川成利東北大
抄録 (和) 広光波長帯域・高信頼性PD技術,低容量FD形成技術,LOFIC技術,埋め込みチャネル技術を融合した画素ピッチ5.6 μm,画素数1280×960のCMOSイメージセンサの設計,試作,測定評価を行った.最小加工寸法0.18 μm-CMOSイメージセンサプロセステクノロジを用いて試作したチップの測定の結果,240 μV/e-の電荷電圧変換ゲイン,200 ke-の飽和電子数,190-1000 nmの広い感度波長帯域の性能を得た.高出力重水素ランプによる220時間の紫外光照射後も感度劣化が起こらない高い信頼性を有することを確認した. 
(英) In this paper, a CMOS image sensor introducing wide spectral sensitive PD technology, small floating diffusion (FD) capacitance technology, lateral overflow integration capacitor (LOFIC) technology and buried channel technology is designed, fabricated and evaluated. A 5.6 μm pixel pitch CMOS image sensor was fabricated using a 0.18 μm 1P5M CMOS process technology. It achieved a high conversion gain (CG) of 240 μV/e-, a high full well capacity of 200 ke-, a wide spectral response for 190-1000 nm and a high robustness to deuterium lamp used as a UV light.
キーワード (和) 分光感度 / 紫外光 / 電荷電圧変換ゲイン / 飽和電荷量 / CMOSイメージセンサ / / /  
(英) Spectral response / Ultraviolet light / Conversion gain / Full well capacity / CMOS image sensor / / /  
文献情報 映情学技報, vol. 39, no. 35, IST2015-55, pp. 49-52, 2015年9月.
資料番号 IST2015-55 
発行日 2015-09-11 (IST) 
ISSN Print edition: ISSN 1342-6893    Online edition: ISSN 2424-1970
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研究会情報
研究会 IST  
開催期間 2015-09-18 - 2015-09-18 
開催地(和) 機械振興会館 
開催地(英) Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. 
テーマ(和) イメージセンサおよび一般、2015 IISWとVLSIシンポジウムからの発表報告 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 IST 
会議コード 2015-09-IST 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 電荷電圧変換ゲイン240uV/e-、飽和電子数200ke-、感度波長帯域190-1000nmを有するCMOSイメージセンサ 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) A CMOS Image Sensor with 240μV/e- Conversion Gain, 200ke- Full Well Capacity and 190-1000nm Spectral Response 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) 分光感度 / Spectral response  
キーワード(2)(和/英) 紫外光 / Ultraviolet light  
キーワード(3)(和/英) 電荷電圧変換ゲイン / Conversion gain  
キーワード(4)(和/英) 飽和電荷量 / Full well capacity  
キーワード(5)(和/英) CMOSイメージセンサ / CMOS image sensor  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 那須野 悟史 / Satoshi Nasuno / ナスノ サトシ
第1著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 若嶋 駿一 / Shunichi Wakashima / ワカシマ シュンイチ
第2著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 楠原 史章 / Fumiaki Kusuhara / クスハラ フミアキ
第3著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 黒田 理人 / Rihito Kuroda / クロダ リヒト
第4著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 須川 成利 / Shigetoshi Sugawa / スガワ シゲトシ
第5著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
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講演者 第1著者 
発表日時 2015-09-18 16:10:00 
発表時間 30分 
申込先研究会 IST 
資料番号 IST2015-55 
巻番号(vol) vol.39 
号番号(no) no.35 
ページ範囲 pp.49-52 
ページ数
発行日 2015-09-11 (IST) 


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